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フッ素樹脂 ウェハキャリア横型 WJ-H

シリコンウェハ(SEMI/JEITA規格)の各種サイズに適合したフッ素樹脂製ウェハ洗浄キャリアです。耐薬品性に優れる材質のため、酸・アルカリなどさまざまな薬液での洗浄作業に使用いただけます。

対象基板の設置方向は水平となります。

標準仕様以外のサイズ・ワーク数・持ち手長の仕様変更、お手持ちの洗浄容器の寸法に合わせた特注仕様にも対応いたします。

主な仕様一覧

型式 WJ-H205-150 WJ-H305-150 WJ-H405-150 WJ-H505-150 WJ-H605-150 WJ-H805-150
適用サイズinch 2 3 4 5 6 8
セット数 5
セット方向 水平
材質 フッ素樹脂(PTFE)
外形寸法mm W 68 102 124 150 172 248
D 63 94 122 150 172 244
H 43 56 56 56 56 53
持ち手長 mm 150
寸法図ダウンロード 外形図H205.pdf 外形図H305.pdf 外形図H405.pdf 外形図H505.pdf 外形図H605.pdf 外形図H805.pdf
型式 WJ-H210-150 WJ-H310-150 WJ-H410-150 WJ-H510-150 WJ-H610-150 WJ-H810-150
適用サイズinch 2 3 4 5 6 8
セット数 10
セット方向 水平
材質 フッ素樹脂(PTFE)
外形寸法mm W 68 102 124 150 172 248
D 63 94 122 150 172 244
H 53.5 86 86 86 86 83
持ち手長 mm 150
寸法図ダウンロード 外形図H210.pdf 外形図H310.pdf 外形図H410.pdf 外形図H510.pdf 外形図H610.pdf 外形図H810.pdf
注文型式指定
横型寸法図
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