設備情報｜株式会社テクノファイン

設備情報

株式会社テクノファインでは、弊社工場内に実験設備を所有しております。

自社製品の性能評価試験はもちろん、特殊プロセスの受託や研究用サンプルの製作等デバイス開発施設として稼動しております。

PHOTOLITHOGRAPHY	スピンコータークリーンオーブン露光器

CVD & THINFILM	プラズマCVD装置 ZnO-CVD装置 3元スパッタ装置蒸着装置

DRY ETCHING	RIE装置 ICP装置イオンミリング

ANNEALING	横型拡散炉

WET PROCESS	純水製造器有機ドラフトチャンバー無機ドラフトチャンバースピンドライヤーメッキ装置

OTHERS	UV洗浄装置除害装置ウォータースクラバー CMP装置

MEASUREMENT & OBSERVASION	FTIR装置電子顕微鏡＋EDX デジタル顕微鏡実体顕微鏡

加工機械	汎用旋盤縦型汎用フライス卓上ボール盤 TIG溶接機帯鋸盤シャーリングマシンダイヤモンドカッター

性能試験	ヘリウムリークディテクター Q-MASS スピニングローターゲージ