原子層堆積（ALD）装置
プリカーサー容器
容器には透明ガラスを採用し、プリカーサーの残量や状態を目視にて直接確認することが可能です。
容量は180mlと60mlの2種類をご用意しております。
プリカーサーを反応室へ安定供給するための加熱ヒーターの販売もしております。
基本仕様：標準タイプ
| 型式 | TFA-B180 |
|---|---|
| 材質 |
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| フランジ規格 | ICF70 |
| 内容量 | 180ml |
| 外形寸法（直径×高さ） | ø66×140mm （金属部を除く） |
| 重量 | 360g （金属部を含む） |
| 別売品 |
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基本仕様：小径タイプ
| 型式 | TFA-B60 |
|---|---|
| 材質 |
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| フランジ規格 | ICF34 |
| 内容量 | 60ml |
| 外形寸法（直径×高さ） | ø34×120mm （金属部を除く） |
| 重量 | 85g （金属部を含む） |
| 別売品 |
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