真空成膜装置

スパッタ装置

3元スパッタ装置MC-1301

3元スパッタ装置MC-1301

3元スパッタ装置TS-300

3元スパッタ装置TS-300

蒸着装置

多層金属蒸着装置

多層金属蒸着装置MC-1201

原子層堆積（ALD）装置

ALD装置TFALL-201

原子層堆積（ALD）装置TFALL-201

ALD装置TFALD-210

多品種成膜対応　原子層堆積（ALD）装置TFALD-201

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