プラズマ実験装置プラズマ処理ユニット
お客様のプロセス処理・条件等のご要望に応じて設計、製作いたします。
また、お客様がお持ちの既存装置に適合する、ユニット単体での製作もいたしますので、ご相談ください。
処理ユニット
スパッタカソードユニット
| 対象プロセス | スパッタ成膜 |
|---|---|
| 取付けサイズ | ICF152 |
| ターゲット
サイズ |
3インチ |
| 最大出力 | DC1500W RF500W |
| 位置調整範囲 | 0~100mm |
イオンソースユニット
| 対象プロセス | イオンミリング 反応性イオンスパッタ |
|---|---|
| 取付けサイズ | ICF152 |
| 照射範囲 | Ø40mm |
| 最大出力 | RF200W |
ICPユニット
| 対象プロセス | CVD/ドライエッチング |
|---|---|
| 取付けサイズ | ICF203 |
| 導波管サイズ | Ø75 |
| 最大出力 | RF500W |
電子ビームユニット
| 対象プロセス | 蒸着成膜 |
|---|---|
| 取付けサイズ | ICF203 |
処理ステージ
基板加熱ステージ
| ワークサイズ | Ø2インチ |
|---|---|
| 機能 |
|
基板昇降ステージ
| ワークサイズ | Ø3インチ |
|---|---|
| 機能 |
|
