自動処理プラズマ装置｜テクノファイン

プラズマ処理装置自動処理プラズマ装置

処理ユニットと処理ステージを一対とし、最大4ユニットを搭載。
ロードロックおよび搬送ユニットを標準装備し、処理時間の短縮化や自動運転プログラムによるオペレート作業の軽減など効率を重視した装置構成になります。

4ヶ所の基板ステージを搭載し、基板ステージごとに個別の温度設定ができるので、異なる成膜条件にも迅速な処理が可能です。

3種類のターゲットが同時にセットでき、大気開放することなく、3種スパッタ成膜が可能です。