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フッ素樹脂 ウエハー洗浄キャリア WJ-H
各種サイズに適合したフッ素樹脂製ウエハ洗浄キャリアです。全てPTFE製ですので、酸・アルカリなどの溶剤にご使用いただけます。一覧表以外のサイズ・ワーク数・持ち手長の仕様変更、お手持ちの洗浄容器の寸法に合わせた特注仕様にも対応いたします。
主な仕様一覧
型式 | WJ-H205-150 | WJ-H305-150 | WJ-H405-150 | WJ-H505-150 | WJ-H605-150 | WJ-H805-150 | |
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適用サイズinch | 2 | 3 | 4 | 5 | 6 | 8 | |
セット数 | 5 | ||||||
セット方向 | 水平 | ||||||
材質 | フッ素樹脂(PTFE) | ||||||
外形寸法mm | W | 68 | 102 | 124 | 152 | 172 | 248 |
D | 63 | 94 | 122 | 150 | 172 | 244 | |
H | 43 | 56 | 56 | 56 | 56 | 53 | |
持ち手長 mm | 150 |

