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フッ素樹脂 ウェハキャリア WJ-H

半導体シリコンウェハの各種サイズに適合したフッ素樹脂製のウェハ洗浄キャリアです。酸・アルカリなど耐薬品性に優れる材質ですので、さまざまな薬液での洗浄作業にご使用いただけます。

シリコンウェハの設置方向は水平となります。

標準仕様以外のサイズ・ワーク数・持ち手長の変更、お手持ちの洗浄容器の寸法に合わせた特注仕様にも対応いたします。

主な仕様一覧

型式 WJ-H205-150 WJ-H305-150 WJ-H405-150 WJ-H605-150 WJ-H805-150
適用サイズinch 2 3 4 6 8
セット数 5
セット方向 水平
材質 フッ素樹脂(PTFE)
外形寸法mm W 68 102 124 172 248
D 63 94 122 172 244
H 43 56 56 56 53
持ち手長 mm 150
注文型式指定
横型寸法図
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