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フッ素樹脂 ウェハキャリア WJ-V
半導体シリコンウェハの各種サイズに適合するフッ素樹脂製のウェハキャリアです。酸・アルカリなど耐薬品性に優れる材質のため、さまざまな薬液での洗浄作業に使用いただけます。
シリコンウェハの設置方向は垂直となります。
標準仕様以外のサイズ・ワーク数・持ち手長の仕様変更、お手持ちの洗浄容器の寸法に合わせた特注仕様にも対応いたします。
主な仕様一覧
| 型番 | WJ-V205-150 | WJ-V305-150 | WJ-V405-150 | WJ-V605-150 | WJ-V805-150 | |
|---|---|---|---|---|---|---|
| 適用サイズinch | 2 | 3 | 4 | 6 | 8 | |
| セット数 | 5枚 | |||||
| セット方向 | 垂直 | |||||
| 材質 | フッ素樹脂（PTFE） | |||||
| 外形寸法mm | W | 65 | 98 | 125 | 180 | 230 |
| D | 47 | 92 | 92 | 96 | 96 | |
| H | 33 | 55 | 65 | 110 | 145 | |
| 持ち手長 mm | 150 | |||||
| 型番 | WJ-V210-150 | WJ-V310-150 | WJ-V410-150 | WJ-V610-150 | WJ-V810-150 | |
|---|---|---|---|---|---|---|
| 適用サイズinch | 2 | 3 | 4 | 6 | 8 | |
| セット数 | 10枚 | |||||
| セット方向 | 垂直 | |||||
| 材質 | フッ素樹脂（PTFE） | |||||
| 外形寸法mm | W | 65 | 98 | 125 | 180 | 230 |
| D | 72 | 142 | 142 | 146 | 146 | |
| H | 33 | 55 | 65 | 110 | 145 | |
| 持ち手長 mm | 150 | |||||
