卓上リンサドライヤー

RD-300

  • 洗浄・ブロー乾燥ノズル付
  • Ø3インチ/100mm角基板が使用可能
  • 最高回転数3000rpm
  • 同時5枚処理が可能
  • 回転数モニター
  • 自動停止タイマー付
  • レシピデータ保存機能付
3インチ対応 3インチ対応 同時処理数:5枚 自動処理 洗浄ノズル:2本

性能仕様

型式 RD-300
ワークサイズ
  • Ø3インチ以下
  • 100mm角基板
最高回転数 3000rpm
インターフェイス タッチパネル
安全機構 運転中のカバー開閉検知停止
機能
  • 自動停止タイマー(最大60分)
  • 処理データセーブ機能(5種類)
  • 2軸ノズル(洗浄/ブロー乾燥)

一般仕様

ステージ材質 フッ素樹脂
ステージ直径 Ø250mm
使用可能流量 2L/min
外形寸法(幅×奥行×高さ) 380×460×480mm
入力電源 AC100V 50/60Hz
ユーティリティー
  • 窒素ガス供給口×1
  • 純水供給口×1
  • 圧縮空気供給口×1
  • 給水ポンプ駆動エア×1
  • 排水口×1
付属品
  • 電源ケーブル
  • 取扱説明書
別売品
  • 純水用ダイアフラム式ポンプ
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