ウエハ塗布装置

カセット対応自動スピンコーターSC-1600

SC-1600正面

Ø4インチまたはØ6インチサイズのウエハへ薬液を均一に塗布します。

薬液供給にはシリンジポンプを採用し、シリンジポンプを交換するだけで、様々な薬液を使用する事が可能です。

作業工程を自動化する事で、作業者の技能に囚われない定品質ウエハの製造を目的とします。

SC1600内部

ワーク取り出し、センタリング、スピンコート、ワーク収納の順次処理を自動的におこないます。

sc-1600カセットローダー

搬送ローダーにカセットをセットするだけで、自動的にワークサイズを判別し、搬送位置を最適化します。

基本仕様

型式 SC-1600
ワークサイズ Ø4/Ø6インチ
最大回転数 6000rpm
連続処理枚数 25枚
薬液供給 エア圧送式シリンジ
インターフェイス 7インチ タッチパネル
外形(幅×奥行×高さ) 1100×750×1700mm
入力電源 単相AC100V 20A
オプション品
  • イオナイザー
  • フッ素樹脂製コーターカバー
付属品
  • 4インチ用 耐熱ウエハキャリア
  • 6インチ用 耐熱ウエハキャリア
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