製品概要｜卓上スピンドライヤー

卓上スピンドライヤー

遠心力を利用して乾燥処理をおこなう、卓上に設置可能なスピン乾燥機です。対応サイズ以下のワークを処理できる融通性があります。

20mm角基板から6インチウェハの各サイズのラインナップを取り揃えております。

回転軸中心に近いほど発生する遠心力は弱く、中央にワークを設置する自転式では中央部の乾燥不良が発生しやすくなります。

弊社ではワーク全体を回転させる公転構造を採用し、放射スリットによって排水性をさらに向上させる事で、表裏全面の均一な乾燥を実現します。

素材には耐薬品性の高いフッ素樹脂を採用し、様々な洗浄液の乾燥にご使用いただけます。

遠心力を利用する構造上、乾燥時に液体が外周部に飛散します。

防滴カバーをテーパー形状にする事で、カバー壁面から跳ね返りを軽減し、ワークへの再汚染をを防止します。