試料同士の反り・ウネリ・凹凸などの要素が影響する接合不良を独自ノウハウにより解消し、全面にわたる均一な接合密着性、アライメント精度の向上、ボイド低減化を実現します。

独立制御された複数のピストンにて加圧することで、試料全面にわたる均等な圧力分布を可能とし、接合部の密着性が向上します。

ピストン先端部には加変角機構を採用し、接合試料の傾斜に沿って、加圧ヘッドが可変し均一に加圧することが可能です。

アライメント調整・接合をすべて真空中で行うことで、接着強度や耐湿信頼性に影響を及ぼす、ボイドの低減化を実現します。

更に前処理ユニットを搭載することで、メタル表面の酸化膜を除去後に接合することも可能となります。