プラズマ処理装置製品概要

処理ユニットの選択により、目的のプロセス処理に適合する汎用性の高い柔軟な装置開発が可能です。

単機能な真空装置だけでなく、複数の処理ユニットでの複合処理や順次処理に対応する開発装置をご提案いたします。

また、既存の装置や真空チャンバーに適応したユニットの設計・製作にも対応いたします。